今日A股光刻机板块迎来短线强势拉升行情，成为半导体产业链的核心引爆点，呈现“龙头封板、多点开花”的狂热格局。板块核心标的中瓷电子表现尤为震撼，开盘后快速聚拢资金封死涨停板，为板块注入强烈信心；同飞股份、炬光科技、波长光电、广立微、中船特气等细分领域标的同步跟涨，洪田股份、大族激光等产业链相关企业亦积极联动，形成覆盖核心部件、辅助材料、设备配套的全链条上涨梯队。从交易情况来看，资金进场迹象极为明确，反映出市场对光刻机行业国产替代突破与成长潜力的高度认可。

国产0.6nm电子束光刻机研发获突破，核心部件国产化提速：据东方财富网2025年12月15日报道，国内自主研发的0.6纳米电子束光刻机“羲之”已完成中试验证，其中炬光科技参与的光场匀化器及电子枪模块成为关键技术支撑。炬光科技的光场匀化器基于超硬碳化钨材料工艺，将激光光束均匀化以提升光刻分辨率，相关产品已通过验证并实现订单同比增长187%。同时，中瓷电子开发的氧化铝、氮化铝精密陶瓷零部件（静电卡盘、陶瓷加热盘等）已批量应用于国产光刻机，良率提升至90%以上，核心技术指标达国际水平。

大基金三期重点加码，政策资金双重护航：证券时报2025年12月10日披露，国家集成电路产业投资基金三期（大基金三期）已完成首期2000亿元资金募集，其中30%明确用于半导体设备及核心零部件领域，光刻机相关产业链是重点投入方向。同期，工信部发布《关于加快推进半导体设备国产化的指导意见》，提出2027年光刻机核心零部件国产化率突破40%的目标，对实现技术突破的企业给予最高5000万元研发补贴，政策与资金形成双重支撑。

全球市场规模突破220亿美元，国产替代空间广阔：豆丁网2025年11月29日发布的《2025半导体光刻机技术壁垒与全球市场竞争格局分析报告》显示，2025年全球光刻机市场规模将达到220亿美元，年复合增长率12.5%，其中EUV光刻机需求突破100台大关。但高端市场长期由ASML垄断，国内精密陶瓷零部件等核心环节国产化率不足20%，中瓷电子等实现“0-1”突破的企业，将直接受益于国产替代带来的市场空白填补机遇。

受积极影响的板块

光刻机核心零部件板块：作为光刻机国产化的核心环节，直接受益于技术突破与订单放量。雪球行业分析指出，中瓷电子的精密陶瓷零部件已供货中微公司、北方华创等设备厂商，并进入头部晶圆厂供应链，2025年国内精密陶瓷零部件市场规模约286亿元，公司有望凭借技术优势抢占市场份额。民生证券2025年12月研报补充，波长光电的光学镜头、广立微的量测设备等均已切入国产光刻机供应链，随着整机研发推进，零部件企业将率先兑现业绩。

半导体特种材料板块：光刻机的高精度运行依赖特种材料支撑，需求随设备产能扩张同步增长。豆丁网行业报告显示，光刻机制造需用到高纯度特种气体、光刻胶、超硬材料等，其中高纯度气体纯度要求达99.9999%以上。中船特气作为国内特种气体龙头，其产品已通过国产光刻机设备厂商验证，2025年相关业务营收预计增长60%以上；炬光科技使用的超硬碳化钨材料也因光刻技术升级需求，市场规模将实现快速扩张。

半导体设备配套板块：光刻机的生产与调试需要大量配套设备，形成协同增长效应。中信建投2025年12月研报指出，同飞股份的精密冷却设备、大族激光的激光加工设备，均是光刻机生产制造及维护的关键配套产品。随着国产光刻机从研发走向量产，配套设备需求将持续释放，预计2025年相关配套市场规模增长超45%，具备技术优势的企业将深度受益。

风险提示：本文提及的行业信息与企业动态仅作梳理，不构成任何投资建议；企业经营及市场波动存在不确定性，请注意相关风险。