家嘉电子取得电容薄膜镀膜喷嘴板专利,避免蒸气流速过快影响喷镀质量
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2025-05-29 09:33:07
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金融界2025年5月29日消息,国家知识产权局信息显示,佛山家嘉电子科技有限公司取得一项名为“一种电容薄膜镀膜喷嘴板”的专利,授权公告号CN222908037U,申请日期为2024年07月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种电容薄膜镀膜喷嘴板,包括基板,基板上开设若干喷嘴,基板底部设有两倾斜设置的导气板,两导气板之间的开口由下至上逐渐变小,两块导气板底部均设置有卡合部,用于卡设于下方坩埚的上边缘;喷嘴由下至上包括进气部、缓冲腔和出气部,其中缓冲腔的横截面积大于进气部和出气部的横截面积。本实用新型通过在基板底部设置两块倾斜的导气板,坩埚中的金属蒸气向上流动时经过两导气板之间,由于两导气板之间开口逐渐减小,金属蒸气向上汇聚的过程中通径减小,流速增大,气体流速也会较为均匀地进入上方各个喷嘴中,喷嘴中设置有横截面积较大的缓冲腔,缓冲腔内气体流速放缓,避免了蒸气流速过快影响喷镀质量,继而均匀流出基板。

天眼查资料显示,佛山家嘉电子科技有限公司,成立于2007年,位于佛山市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1768万人民币。通过天眼查大数据分析,佛山家嘉电子科技有限公司参与招投标项目5次,专利信息6条,此外企业还拥有行政许可12个。

来源:金融界

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