上海积塔半导体取得检测蒸镀机中压脚工装专利，提高整体生产效率
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2025-05-29 09:33:17
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金融界2025年5月29日消息，国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司取得一项名为“一种检测蒸镀机中压脚的工装”的专利，授权公告号CN222908040U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本申请提供一种检测蒸镀机中压脚的工装，包括测力机构，用于测量压脚施加给盖板的压力。通过检测压脚施加到盖板上的压力，可以及时发现并调整压力，避免因压力不当导致的生产中断或重工，从而提高整体生产效率；通过检测压脚压力减少因压脚变形导致的晶圆缺角或碎片，有助于减少材料浪费，从而降低整体制造成本；通过检测和控制压脚压力，确保晶圆在蒸镀过程中的稳定性，减少晶圆边缘磨损和缺角风险，从而提高最终产品的质量和可靠性；避免因压力过大导致的设备损坏，有助于延长治具和设备的使用寿命，减少维护和更换成本；精确控制压脚压力有助于实现更均匀的金属薄膜沉积，从而提高半导体器件的性能和一致性。
天眼查资料显示，上海积塔半导体有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1690740.3918万人民币。通过天眼查大数据分析，上海积塔半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1822次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息1111条，此外企业还拥有行政许可192个。
来源：金融界
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