无锡动源电子申请晶圆测试装置及方法专利，避免因探针磨损影响晶圆电阻率检测准确性
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2025-05-31 15:03:31
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金融界2025年5月31日消息，国家知识产权局信息显示，无锡动源电子科技有限公司申请一项名为“一种晶圆测试装置及晶圆测试方法”的专利，公开号CN120064944A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆测试装置及晶圆测试方法，涉及晶圆测试技术领域，包括测试机构，所述测试机构上设置有辅助机构，所述辅助机构包括支架，所述支架的顶部安装有驱动电机，所述支架的顶部安装有报警器，所述驱动电机的输出端安装有转杆。本发明通过设置辅助机构，可以让晶圆测试装置具备对装置中探头上的探针进行监测的功能，当探针发生磨损后，可以及时提醒工作人员更换探针，这样不仅可以避免出现因探针磨损而影响晶圆电阻率检测准确性的情况，还可以避免出现因探针磨损而导致芯片性能下降甚至报废的情况，既提高了晶圆测试装置的使用效果，同时也提高了晶圆测试装置的使用效率。
天眼查资料显示，无锡动源电子科技有限公司，成立于2012年，位于无锡市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本460万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡动源电子科技有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可5个。
来源：金融界
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