IBM申请具有加热器的相变存储器单元专利，提供形成相变存储器器件新方法
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2025-06-02 18:03:58
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金融界2025年6月2日消息，国家知识产权局信息显示，国际商业机器公司申请一项名为“具有加热器的相变存储器单元”的专利，公开号CN120077755A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明的实施例提供了一种形成相变存储器器件的方法。该方法包括在支撑结构上形成底部电极；在底部电极的顶部上依次形成第一毯覆式介电层、相变材料层、第二毯覆式介电层、和硬掩模；在硬掩模中的开口中形成内间隔物以修改开口；将开口延伸到第二毯覆式介电层中以创建延伸的开口；用加热元件填充延伸的开口；将第二毯覆式介电层、相变材料层、和第一毯覆式介电层分别蚀刻成第二介电层、相变元件、和第一介电层；形成围绕相变元件的导电衬里；以及在加热元件的顶部上形成顶部电极。因此还提供了由此形成的结构。
来源：金融界
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