金融界2025年6月2日消息,国家知识产权局信息显示,罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法”的专利,公开号CN120057843A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本发明涉及一种微电子机械传感器(1),其具有带有传感器结构(3)和盖基底(4)的传感器基底(2),在盖基底(4)和传感器基底(2)之间至少在所述传感器结构(3)的区域中构造有第一腔区域(5),其中,所述盖基底(4)具有至少一个通道(6),所述至少一个通道(6)从所述盖基底(4)的第一侧(7)出发穿过所述盖基底(4)延伸到第一腔区域(5)中,其中,所述盖基底(4)在所述第一侧(7)上邻接到所述通道(6)地具有一区域(8),其中,至少所述区域(8)设有疏水的表面涂层(9)。本发明还包括一种用于制造微电子机械传感器的方法(100)。
来源:金融界