宁波芯链光电申请低成本掩膜版相关专利，成本低廉且加工周期短
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2025-06-07 23:34:31
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金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，宁波芯链光电有限公司申请一项名为“低成本掩膜版及其制备方法和应用该掩膜版的光刻方法”的专利，公开号CN120103666A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明涉及低成本掩膜版及其制备方法和光刻方法，低成本掩膜版包括基板和贴附在基板上的碳带，碳带上具有预先设计的透光区和非透光区，透光区和非透光区共同构成芯片的图案。使用碳带打印机在碳带上打印出芯片图案，碳带被打印后涂层掉落的区域为透明，可透过光刻机的紫外光，而碳带上保留涂层的区域为黑色，可以遮挡光刻机的紫外光，将碳带贴附在基板上可以形成掩膜版，从而将碳带上的芯片图案转移到晶圆上；碳带打印加工掩膜版相较于电子束或激光刻蚀技术加工掩膜版，成本低廉且加工周期短；本申请掩膜版采用碳带打印、裁剪、贴附等，打印芯片图案方便快捷，裁剪、贴附工艺可批量生产；对于低精度芯片的掩膜版，本制备方法能够快速地制作完成。
天眼查资料显示，宁波芯链光电有限公司，成立于2023年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波芯链光电有限公司专利信息1条。
来源：金融界
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