盛吉盛半导体申请沉积装置的喷头专利，可实现构成沉积装置的喷头的零部件之间的分离
创始人
2025-06-09 18:36:49
0次
金融界2025年6月9日消息，国家知识产权局信息显示，盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司申请一项名为“沉积装置的喷头”的专利，公开号CN120099501A，申请日期为2024年04月。
专利摘要显示，本发明涉及一种沉积装置的喷头，包括气体板、挡板及端板，所述气体板包括形成在中心的工艺气体入口，所述挡板设置在所述气体板的下部并且包括多个气孔，所述端板设置在所述挡板的下部并且包括多个气孔，其特征在于，在所述挡板的下部预组装所述端板，构成所述挡板与所述端板的组件，在所述气体板的下部安装所述组件，安装有所述组件的所述气体板插入并设置于形成在工艺腔室的盖的设置槽。根据本发明，可实现构成所述沉积装置的喷头的零部件之间的分离，对于各种零部件组合可容易实施性能测试，不仅如此，还大幅度节省制作各种组合的喷头的所需成本，并且在污染时容易清洗内部。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
曼联1.2亿豪购两翼齐飞！阿莫...
上赛季的曼联，简直是把‘惨’字刻在了脑门上——联赛第15，这是要梦回1974年降级的节奏？球迷们的心...
为什么一只活鸭上百元，一只烤鸭...
“鸭子25元一只，每天现做现卖，高峰期一天能卖200多只。”济南街头某烤鸭店的店员向记者介绍道。当地...
其他电源设备板块6月9日涨1....
证券之星消息，6月9日其他电源设备板块较上一交易日上涨1.2%，爱科赛博领涨。当日上证指数报收于33...
评论丨街道办副科长假卖拆迁房诈...
拆迁房难容权力寻租，更不容干部诈骗犯罪成为群众利益的“刺客” 一街道办副科长参与假卖拆迁房，竟然诈...
原创 6...
据央视新闻报道，蒙古国政坛突发地震！6万人签名请愿，80后总理奥云额尔登黯然退场。这场政坛风暴背后，...
爱丁堡大学研究生，北京大学本科...
近日，泸州华润兴泸燃气有限公司公示关于社会公开招聘拟录用人员引发热议，拟录用以下3人为抄表维修工：曾...
原中央防范和处理邪教问题领导小...
原中央防范和处理邪教问题领导小组办公室副主任高以忱涉嫌严重违纪违法，目前正接受中央纪委国家监委纪律审...
中国战机连爆大单！军工股集体“...
近期，中国军工外贸领域接连传出重磅消息。 印尼方面表态考虑采购10架中国制造的歼-10；巴基斯坦方面...
打虎！高以忱被查
中央纪委国家监委网站6月9日消息：原中央防范和处理邪教问题领导小组办公室副主任高以忱涉嫌严重违纪违法...
电光科技中标结果：江苏徐矿能源...
证券之星消息，根据天眼查APP信息整理，6月9日公布的《江苏徐矿能源物资供销分公司开关配件采购中标公...