大族半导体取得旋转载台及加工设备专利，具备更高的对接精度
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2025-06-11 21:06:35
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金融界2025年6月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司取得一项名为“旋转载台及加工设备”的专利，授权公告号CN222966109U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本申请公开一种旋转载台及加工设备，旋转载台包括安装座、旋转组件、旋转驱动机构、顶升机构和承载组件；其中旋转组件设于安装座上，且具备转动部，旋转驱动机构设于安装座上，并位于旋转组件周侧，用于驱动转动部转动；顶升机构包括顶升驱动件以及与顶升驱动件驱动连接的顶升件，顶升驱动件设于安装座上，承载组件设于转动部上，承载组件上还设有供顶升件穿过的孔。顶升机构和旋转组件相互独立，在工件随旋转组件转动一定角度，确保在竖直方向工件的待测区域与上方探针一一对应后，再由顶升机构沿着竖直方向升起并与探针对接，具备更高的对接精度。顶升机构位于旋转组件的中空区域，可降低载台厚度，提升载台刚性，进一步提升载台的精度。
天眼查资料显示，深圳市大族半导体装备科技有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市大族半导体装备科技有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目203次，专利信息830条，此外企业还拥有行政许可17个。
来源：金融界
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