喆塔科技申请半导体重复加工工艺管控相关专利，提高循环重复参数监控精度_资源案例

喆塔科技申请半导体重复加工工艺管控相关专利，提高循环重复参数监控精度

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2025-06-12 09:06:03

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金融界2025年6月12日消息，国家知识产权局信息显示，上海喆塔信息科技有限公司;合肥喆塔科技有限公司申请一项名为“半导体重复加工工艺管控方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN120127027A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明属于半导体工艺技术领域，公开了一种半导体重复加工工艺管控方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：基于当前工艺步骤选定父级范围以及单个循环重复步骤范围；在父级范围内，通过循环识别的方式将父级范围内所有的工艺步骤与选定的单个循环重复步骤范围内的工艺步骤进行逐一匹配，得到若干轮次的循环重复步骤；对匹配到的每一轮次的循环重复步骤的重复参数进行统计运算；基于统计运算结果进行异常值判定；若存在异常值，则分析异常值，并基于分析结果进行管控。

天眼查资料显示，上海喆塔信息科技有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海喆塔信息科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目14次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可1个。

合肥喆塔科技有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1213.09万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥喆塔科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息36条，此外企业还拥有行政许可4个。

来源：金融界

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