南通昕东燃机电科技申请半导体设备零部件表面处理生产线专利，实现半导体设备零部件从毫米级到纳米级的全方位、高精度加工_资源案例

南通昕东燃机电科技申请半导体设备零部件表面处理生产线专利，实现半导体设备零部件从毫米级到纳米级的全方位、高精度加工

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2025-06-16 11:08:09

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金融界2025年6月16日消息，国家知识产权局信息显示，南通昕东燃机电科技有限公司申请一项名为“一种半导体设备零部件表面处理生产线”的专利，公开号CN120134000A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体设备零部件表面处理生产线，涉及半导体制造技术领域，该生产线呈线性串联式布局，包含量子点标记区、宏观结构加工区、微观结构雕琢区、纳米结构沉积修饰区，本发明通过量子点标记区、宏观结构加工区、微观结构雕琢区及纳米结构沉积修饰区的有机串联，实现了半导体设备零部件从毫米级到纳米级的全方位、高精度加工，每个区域均配备先进的工艺设备与智能控制系统，能够针对零部件的不同尺度结构需求进行针对性处理，这种宏‑微‑纳多级结构的协同处理方式，不仅显著提升了零部件的加工精度，还确保了各尺度结构之间的良好协同性，从而有效满足了半导体复杂制造工艺的严苛要求。

天眼查资料显示，南通昕东燃机电科技有限公司，成立于2008年，位于南通市，是一家以从事铁路、船舶、航空航天和其他运输设备制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，南通昕东燃机电科技有限公司共对外投资了2家企业，专利信息4条。

来源：金融界

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