苏州搏技光电申请半导体生产用晶圆检测装置专利，同时提高对晶圆的检测精度
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2025-06-17 17:38:53
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金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，苏州搏技光电技术有限公司申请一项名为“一种半导体生产用晶圆检测装置”的专利，公开号CN120164805A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体生产用晶圆检测装置，涉及晶圆生产检测技术领域，包括用于转移半成品晶圆的传递组件，传递组件带动晶圆转移，当出现瑕疵品时自动对晶圆进行分类，传递组件侧边设置有正面检测组件，正面检测组件通过光学系统对晶圆进行检测，且正面检测组件自动对光学系统进行清理，正面检测组件及时检测到晶圆的缺陷，避免带有缺陷的晶圆继续进行加工，造成更大的损失，正面检测组件下端设置有对晶圆背面金属化进行分析的背部检测组件，背部检测组件上设置有检测头能够进行多角度的调节，本发明同时对晶圆上下两面进行检测，同时提高对晶圆的检测精度。
天眼查资料显示，苏州搏技光电技术有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1080万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州搏技光电技术有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息59条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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