北方华创申请半导体工艺设备专利，解决半导体工艺设备工艺腔室内部温度不均匀问题
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2025-06-23 12:37:43
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金融界2025年6月23日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利，公开号CN120184065A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。所公开的半导体工艺设备包括工艺腔室、保温层、第一排气装置和第二排气装置；保温层包裹工艺腔室，且两者之间具有气流间隙，保温层上间隔设有进气通道、第一排气口和第二排气口，第一排气口和第二排气口沿工艺腔室的轴向间隔排布，且进气通道、第一排气口和第二排气口均与气流间隙相连通，第一排气装置与第一排气口可通断地相连通，第二排气装置与第二排气口可通断地相连通。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1070次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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