北方集成申请埋入金属线结构及其制备方法专利，降低了电阻值
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2025-06-24 14:37:33
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金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“埋入金属线结构及其制备方法”的专利，公开号CN120199752A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种埋入电源轨结构，用于半导体器件的电源配送，所述埋入电源轨结构包括形成在所述金属轨道沟内的复合金属结构，其中，所述复合金属结构包括靠近所述金属轨道沟底部的第一轨道金属结构，以及远离所述金属轨道沟底部的第二轨道金属结构，形成所述第一轨道金属结构的材料为第一金属材料；形成所述第二轨道金属层的材料为电阻率低于所述第一金属材料的第二金属材料。本申请的一些实施例中的工艺与现有BPR工艺基本吻合，采用的具有较低电阻率的金属，降低了电阻值。本申请还公开了包括该结构的半导体器件。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息329条，此外企业还拥有行政许可123个。
来源：金融界
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