上海邦芯半导体申请等离子刻蚀工艺控制相关专利，提供刻蚀工艺的质量
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2025-06-27 20:10:39
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金融界2025年6月27日消息，国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“等离子刻蚀工艺的控制方法、等离子刻蚀设备及控制装置”的专利，公开号CN120221380A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本公开提供等离子刻蚀工艺的控制方法、等离子刻蚀设备及控制装置，该控制方法包括：利用中央光学检测装置检测等离子刻蚀腔体中央区域的中心光学信号和利用边缘光学检测装置检测等离子刻蚀腔体边缘区域的中心光学信号，获得中央区域的刻蚀速率和边缘区域的刻蚀速率，并在确定中央区域的刻蚀速率和边缘区域的刻蚀速率之间的刻蚀速率差超过刻蚀阈值范围时，调整中央区域处中央线圈组件和边缘区域处边缘线圈组件中至少一者的射频功率。
天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目14次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息126条，此外企业还拥有行政许可2个。
来源：金融界
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