上海聚跃检测申请半导体晶圆表面芯片检测方法及系统专利,可检测芯片非表面、非显性的缺陷
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2025-06-28 18:08:41
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金融界2025年6月28日消息,国家知识产权局信息显示,上海聚跃检测技术有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆表面的芯片检测方法及系统”的专利,公开号CN120214069A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本发明属于芯片检测技术领域,公开一种半导体晶圆表面的芯片检测方法及系统,该方法包括:将电磁特征向量作为正样本指令信号,构建正样本数据库;扫描待测半导体晶圆表面芯片的电磁辐射信号,并在对电磁辐射信号实施加窗分帧处理后输出待匹配电磁辐射信号;将待匹配电磁辐射信号上传至正样本数据库进行区域截取处理,测量截取结果与正样本数据库任意正样本指令信号之间的距离,获取芯片电磁状态检测结果;模拟芯片阻抗不匹配情况,并根据模拟结果生成反射信号缺陷定性集合;匹配待测半导体晶圆表面芯片的缺陷,与芯片电磁状态检测结果结合预测待测半导体晶圆表面芯片的寿命。

天眼查资料显示,上海聚跃检测技术有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1995.6655万人民币。通过天眼查大数据分析,上海聚跃检测技术有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息46条,此外企业还拥有行政许可3个。

来源:金融界

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