拓荆科技申请加热台升降装置及半导体设备专利，增强加热台升降控制
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2025-06-28 18:37:51
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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“一种加热台升降装置及半导体设备”的专利，公开号CN120210784A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明公开了一种加热台升降装置及半导体设备，该装置用于驱动加热台升降，加热台固定安装于升降底座上，装置包括：驱动机构，用于驱动升降底座上下运动；导轨机构，包括竖向对称设置于所述升降底座两侧的导轨单元；同轴度调整机构，与升降底座连接，包括X轴调节组件和Y轴调节组件，X轴调节组件用于在X轴方向对升降底座进行调节，Y轴调节组件用于在Y轴方向对升降底座进行调节。本发明通过对称分布的导轨单元可以避免由于大气及真空状态差异导致的驱动机构变形，避免加热台偏斜，还通过同轴度调整机构对升降底座的X轴方向和Y轴方向分别进行，避免坐标系合成的问题，由此达到增强加热台升降控制的效果，进而提高薄膜工艺设备的加工性能。
天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息261条，此外企业还拥有行政许可29个。
来源：金融界
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