北方华创申请传片腔室、半导体工艺设备及校准晶圆的方法专利，可有效提高晶圆的传输效率
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2025-06-30 11:38:30
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金融界2025年6月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“传片腔室、半导体工艺设备及校准晶圆的方法”的专利，公开号CN120221430A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本申请提供一种传片腔室、半导体工艺设备及校准晶圆的方法，该传片腔室包括：腔体、第一承载板、第二承载板、驱动机构和止挡件；第一承载板和第二承载板相对设置于腔体的内部，第一承载板和第二承载板用于承载晶圆；驱动机构与第二承载板连接，用于驱动第二承载板朝向靠近或远离第一承载板的方向移动；止挡件位于第一承载板和第二承载板之间，用于在第二承载板朝向第一承载板移动的过程中与第二承载板抵接。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1075次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
来源：金融界
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