合肥先微半导体申请乙硅烷混合气的溶解混合系统及控制方法专利，实现乙硅烷混合气高精度制备
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2025-07-05 18:09:35
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金融界2025年7月5日消息，国家知识产权局信息显示，合肥先微半导体材料有限公司申请一项名为“乙硅烷混合气的溶解混合系统及控制方法”的专利，公开号CN120242791A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明公开了一种乙硅烷混合气的溶解混合系统及控制方法，涉及气体混合制备技术领域，包含七大模块，储存模块以蜂窝状储气罐矩阵实现精准控压，罐壁采用纳米复合结构防腐；预混模块用双螺旋微通道与脉冲注入形成混沌流场；反应模块结合超临界与电磁共振加速反应；监测模块融合多光谱检测；控制系统基于深度强化学习，此外，还设有梯度冷凝‑膜蒸馏分离、仿生安全联锁等模块，各模块协同实现高效混合与生产。本发明实现乙硅烷混合气高精度制备，精准控压储料，分子级高效混合反应，多光谱精准监测，智能调控保障稳定，安全联锁与智能维护强，能减少故障，提升产品质量与生产效率，降低成本。
天眼查资料显示，合肥先微半导体材料有限公司，成立于2022年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2427.0162万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥先微半导体材料有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目38次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可21个。
来源：金融界
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