歌尔微电子申请改善MEMS传感器各振膜之间灵敏度不一致问题的相关专利,改善现有MEMS传感器各振膜之间的灵敏度不一致的问题
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2025-07-15 14:09:26
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金融界2025年7月15日消息,国家知识产权局信息显示,歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“MEMS传感器、麦克风模组和电子设备”的专利,公开号CN120321575A,申请日期为2025年04月。

专利摘要显示,本申请公开了一种MEMS传感器、麦克风模组和电子设备,涉及电子设备技术领域,该MEMS传感器包括基底,以及设置在基底上的至少一个电容器系统,电容器系统包括背板及设置于背板两侧的第一振膜和第二振膜;第一振膜和第二振膜之间设置有连接柱,其中连接柱的连接下,第一振膜和第二振膜之间的连接刚度大于第一振膜和第二振膜的振膜弯曲刚度;和/或,背板与第一振膜之间的间距为第一极板间距,背板与第二振膜之间的间距为第二极板间距,其中第一极板间距与第一振膜的振膜弯曲刚度呈负相关,第二极板间距与第二振膜的振膜弯曲刚度呈负相关。申请提供了一种MEMS传感器改善了现有MEMS传感器各振膜之间的灵敏度不一致的技术问题。

天眼查资料显示,歌尔微电子股份有限公司,成立于2017年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本61243.8891万人民币。通过天眼查大数据分析,歌尔微电子股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目126次,专利信息1696条,此外企业还拥有行政许可23个。

来源:金融界

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