陛通半导体设备取得原子层沉积设备专利，极大简化设备结构，降低设备使用成本
创始人
2025-05-17 12:04:33
0次
金融界 2025 年 5 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，陛通半导体设备（苏州）有限公司取得一项名为“原子层沉积设备”的专利，授权公告号 CN222861631U，申请日期为 2025 年 4 月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种原子层沉积设备。设备包括外腔、内反应腔、基座、升降板、多个顶针、多个支撑杆以及升降驱动组件；外腔上设置有晶圆进出通道；内反应腔设置于外腔内，包括环形侧壁以及可将环形侧壁顶部封闭的顶盖；基座固定于内反应腔内；升降板位于内反应腔内，且环设于基座外围；多个顶针设置在基座外部，且一端与升降板连接，另一端延伸至与晶圆底面接触；多个支撑杆位于顶针外侧，支撑杆一端与升降板连接，另一端与顶盖连接，且至少有两个支撑杆之间的距离大于晶圆的直径；升降驱动组件与升降板连接，且向下延伸到内反应腔的外部，升降驱动组件可将晶圆升至与晶圆进出通道对应的高度。本申请可以极大简化设备结构，降低设备使用成本。
天眼查资料显示，陛通半导体设备（苏州）有限公司，成立于2020年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20500万人民币。通过天眼查大数据分析，陛通半导体设备（苏州）有限公司参与招投标项目3次，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可8个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
原创 冬...
昨天开门取快递，手指刚碰到门把手就 “啪” 地一下，疼得我手猛地缩回来，快递盒都差点掉地上。这已经是...
稳压器精度如何调节
稳压器精度调节的重要性 在工业、农业、通信等众多领域，稳压器都发挥着至关重要的作用。以工业生产中的...
云里物里新注册《AOA中继定位...
证券之星消息，近日云里物里（920374）新注册了3个项目的软件著作权，包括《AOA中继定位标签嵌入...
每周股票复盘：亨通光电（600...
截至2025年10月10日收盘，亨通光电（600487）报收于22.56元，较上周的22.97元下跌...
原创 已...
10月10日，首届西部（成都）健康促进博览会现场，VR眼镜、手术机器人、穿戴式超声等“炫酷”设备纷纷...
娃哈哈经销商被要求不能代理娃小...
近日，宗馥莉辞去娃哈哈集团董事长等相关职务一事引发热议。有消息称，宗馥莉此次辞职，是决定经营自己的品...
泸县太伏镇富民电子经营部（个体...
天眼查App显示，近日，泸县太伏镇富民电子经营部（个体工商户）成立，法定代表人为张光敏，注册资本1万...
增值电信业务经营许可电子证照应...
新京报贝壳财经讯 根据央视报道，我国将全面推广增值电信业务经营许可电子证照应用工作，充分发挥数字技术...
2026深圳嵌入式系统展览会
时 间：2026年8月26～28日 地 点：深圳国际会展中心 ◆展会背景background： 嵌...