苏州方昇光电取得集成式磁控溅射设备专利，大大提高了设备的集成度
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2025-05-17 22:02:59
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金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，苏州方昇光电股份有限公司取得一项名为“一种集成式磁控溅射设备”的专利，授权公告号CN222878065U，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种集成式磁控溅射设备，包括：工作台、溅射组件和镀膜组件；工作台上设设置有反应仓；溅射组件设置在反应仓内；溅射组件包括溅射靶材、调节架和第一柔性管；调节架设置在溅射靶材底部的两侧，调节架设置在反应仓底部，第一柔性管的两端连接溅射靶材和反应仓外部；镀膜组件包括直线模组、驱动源、中心轴和料盘，直线模组设置在反应仓外侧的顶部，驱动源与直线模组的滑座连接，驱动源与中心轴连接，中心轴连接料盘，料盘底部的两侧设置有滑槽，滑槽之间卡设基片。本实用新型将溅射组件和镀膜组件集成在反应仓内，结构简单，方便操作，大大提高了设备的集成度，减小了设备的体积和重量，使得设备更加便携。
天眼查资料显示，苏州方昇光电股份有限公司，成立于2008年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1412.9335万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州方昇光电股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目85次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息77条，此外企业还拥有行政许可4个。
来源：金融界
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