埃地沃兹申请废气减排系统专利，为半导体加工提供高效减排
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2025-05-18 00:04:55
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金融界2025年5月17日消息，国家知识产权局信息显示，埃地沃兹真空泵有限责任公司申请一项名为“废气减排系统”的专利，公开号CN119998024A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明提供了一种用于半导体加工的废气减排系统。该系统包括具有排气出口的真空泵、联接到真空泵的排气出口的水喷射器以及联接到水喷射器的分离器。该系统还包括联接到分离器的气态排气出口的废气减排设备。其中该系统被配置成使得，在使用中，来自真空泵的排气出口的排气流经由水喷射器被输送到分离器，并且其中，该分离器被配置成在使用中从排气流的非气态组分中分离排气流的气态组分。
来源：金融界
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