丽雷半导体取得双面蓝膜晶圆检测装置专利，可对晶圆正反面本体进行同时检测
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2025-05-20 08:33:49
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金融界2025年5月20日消息，国家知识产权局信息显示，常州市丽雷半导体设备有限公司取得一项名为“一种双面蓝膜晶圆检测装置”的专利，授权公告号CN222882599U，申请日期为2024年06月。
专利摘要显示，本实用新型属于半导体检测设备技术领域，尤其涉及一种双面蓝膜晶圆检测装置，包括第一安装架：所述第一安装架上安装有Z轴移动模组，所述Z轴移动模组的一侧外壁上设置有上相机模块和下相机模块，且上相机模块位于下相机模块的上方，所述上相机模块与下相机模块之间设置有晶圆旋转模块，所述晶圆旋转模块的内侧设置有透光板，所述透光板的表面设置有晶圆本体，所述晶圆旋转模块的一侧设置有晶圆旋转电机，所述晶圆旋转电机安装在第二架架的顶端。本实用新型解决了蓝膜晶圆背面无法自动化检测的问题；本实用新型实现了可对晶圆正反面本体进行同时检测，节约了检测时间，提高了检测效率，实用性强。
天眼查资料显示，常州市丽雷半导体设备有限公司，成立于2024年，位于常州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，常州市丽雷半导体设备有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可1个。
来源：金融界
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