科卓半导体申请切割机用晶圆固定装置专利，增强离心清洗力度
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2025-05-22 16:06:43
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金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，广东科卓半导体设备有限公司申请一项名为“一种切割机用晶圆固定装置”的专利，公开号CN120002832A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆技术领域，具体来说是涉及一种切割机用晶圆固定装置，包括有转台和晶圆载具；转台中心设有第一气道；转台顶部设有孔板，孔板与转台之间形成有与第一气道连通的气室；转台内沿周向设有多个第二气道；第一气道与多个第二气道之间设有用于使第一气道分别与各个第二气道连通的控制阀；转台设有支撑台；晶圆载具包括设于支撑台的绷环和设于绷环的UV胶带膜；UV胶带膜沿周向设有多个一一对应与多个第二气道连通的气腔；如此增强离心清洗的力度以及减少清理死角，使得切割碎屑更容易被清理，清洗效果更好，提高清洗效率以及产品良率。
天眼查资料显示，广东科卓半导体设备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1301.8884万人民币。通过天眼查大数据分析，广东科卓半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可12个。
来源：金融界
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