科卓半导体申请切割机用晶圆固定装置专利，增强离心清洗力度
创始人
2025-05-22 16:06:43
0次
金融界2025年5月22日消息，国家知识产权局信息显示，广东科卓半导体设备有限公司申请一项名为“一种切割机用晶圆固定装置”的专利，公开号CN120002832A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆技术领域，具体来说是涉及一种切割机用晶圆固定装置，包括有转台和晶圆载具；转台中心设有第一气道；转台顶部设有孔板，孔板与转台之间形成有与第一气道连通的气室；转台内沿周向设有多个第二气道；第一气道与多个第二气道之间设有用于使第一气道分别与各个第二气道连通的控制阀；转台设有支撑台；晶圆载具包括设于支撑台的绷环和设于绷环的UV胶带膜；UV胶带膜沿周向设有多个一一对应与多个第二气道连通的气腔；如此增强离心清洗的力度以及减少清理死角，使得切割碎屑更容易被清理，清洗效果更好，提高清洗效率以及产品良率。
天眼查资料显示，广东科卓半导体设备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1301.8884万人民币。通过天眼查大数据分析，广东科卓半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可12个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
2026春季新教材教科版EEC...
2026年春季六年级学生部分科目将迎来新版教材，新版教材特别强调知识之间的联系和实际生活中的应用！为...
人教版初中地理下册电子课本大全...
2026年春季开学初中各年级学生将迎来新版下册教材，新版教材特别强调知识之间的联系和实际生活中的应用...
时代电气招标结果：二三极管-深...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，株洲中车时代电气股份有限公司12月17日发布《二三...
EG(屹晶微)EG2184 带...
描述 EG2184是一款高性价比的带SD功能的MOS管、IGBT管栅极驱动专用芯片，内部集成了逻辑信...
三星电子送样SOCAMM2
据闪德资讯获悉，三星电子已向英伟达提供了下一代DRAM模块SOCAMM第二代样品，该产 品将应用于英...
原创 关...
我们手机里面，有一个非常耗电的功能，你知道吗。你要是从来没有去关过，那你的手机用不了一年半载就得报废...
联创光电（600363）12月...
证券之星消息，截至2025年12月19日收盘，联创光电(600363)报收于58.9元，上涨4.97...
南京熊猫电子股份（00553....
证券之星消息，12月19日南向资金增持159.4万股南京熊猫电子股份（00553.HK）。近5个交易...
股票行情快报：科陆电子（002...
证券之星消息，截至2025年12月19日收盘，科陆电子(002121)报收于7.63元，上涨1.19...
美股异动 | 芯片概念股集体走...
智通财经获悉，周五，芯片概念股集体走高，美光科技(MU.US)盘初涨超7%，股价触及历史新高。英伟达...