上欧科技等申请基于多通道传感器的晶圆表面缺陷检测系统专利，可检测多种类型缺陷_资源案例

上欧科技等申请基于多通道传感器的晶圆表面缺陷检测系统专利，可检测多种类型缺陷

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2025-05-23 11:34:10

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金融界2025年5月23日消息，国家知识产权局信息显示，上欧科技（湖州）有限公司;苏州波渺微测科技有限公司申请一项名为“基于多通道传感器的晶圆表面缺陷检测系统”的专利，公开号CN120031857A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本申请提出的基于多通道传感器的晶圆表面缺陷检测系统，通过数据采集模块，采集待测晶圆多维度信息，可检测多种类型缺陷，为生产质量把控提供更完整信息，有效降低因缺陷未检出导致的芯片性能问题与成品率下降风险；智能决策模块能自动学习与识别缺陷特征，精准判断缺陷类型与严重程度，减少人工干预与主观因素影响。数据拼接与加权融合技术使模型充分利用多传感器信息，适应复杂检测场景；结果存储与报告生成模块详细记录检测数据并生成报告，报告含缺陷位置、类型、尺寸、图像或信号特征及影响分析，直观展示检测结果，助用户快速了解晶圆质量状况，为后续决策提供有力依据。

天眼查资料显示，上欧科技（湖州）有限公司，成立于2022年，位于湖州市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本318.75万人民币。通过天眼查大数据分析，上欧科技（湖州）有限公司财产线索方面有商标信息3条，专利信息10条。

苏州波渺微测科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州波渺微测科技有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可3个。

来源：金融界

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