积塔半导体取得晶圆货架专利，降低晶圆表面的颗粒污染物
创始人
2026-01-24 11:40:14
0次
国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司取得一项名为“晶圆货架”的专利，授权公告号CN223822525U，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种晶圆货架。晶圆货架包括：支架；料台，设置于所述支架上，用于承载晶圆；风机组，设置于所述支架上并位于所述料台上方，所述风机组包括多个离子风机和多个过滤风机，所述离子风机用于向所述晶圆提供离子气流，所述过滤风机用于朝向所述晶圆提供过滤气流。上述技术方案在晶圆货架上设置离子风机和过滤风机，通过离子风机提供带有正负电荷的离子气流，可以将将晶圆表面上所带的电荷中和掉，消除静电效果，降低静电带来的风险；并通过提供新鲜洁净的过滤气流，有效稀释和冲洗污染源，从而降低污染物的浓度，降低晶圆表面的颗粒污染物。
天眼查资料显示，上海积塔半导体有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1790638.7534万人民币。通过天眼查大数据分析，上海积塔半导体有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1949次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息1339条，此外企业还拥有行政许可200个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
传周半导体取得用于激光测距的口...
国家知识产权局信息显示，传周半导体科技（上海）有限公司取得一项名为“一种用于激光测距的口径可调接收系...
铠侠取得非易失性半导体存储装置...
国家知识产权局信息显示，铠侠股份有限公司取得一项名为“非易失性半导体存储装置”的专利，授权公告号CN...
美国三大股指全线收涨，多只芯片...
美东时间周四(18日)，受大型科技股集体上涨影响，美国三大股指全线收涨，道指涨0.14%，标普500...
通宇无线技术研究院取得天线滤波...
国家知识产权局信息显示，通宇（中山）无线技术研究院有限公司取得一项名为“一种天线滤波器一体化结构”的...
格力电器取得电路故障定位系统专...
国家知识产权局信息显示，珠海格力电器股份有限公司取得一项名为“一种电路故障定位系统及空调系统”的专利...
思格数字申请电力系统中X电容检...
国家知识产权局信息显示，上海思格数字技术有限公司申请一项名为“电力系统中X电容的检测方法和电力系统”...
麓邦光电取得光学像差演示装置专...
国家知识产权局信息显示，长沙麓邦光电科技有限公司取得一项名为“一种光学像差演示装置”的专利，授权公告...
【私募调研记录】泰舜资产调研波...
根据市场公开信息及6月18日披露的机构调研信息，知名私募泰舜资产近期对2家上市公司进行了调研，相关名...
禾记电子取得招聘信息标准化处理...
国家知识产权局信息显示，浙江禾记电子科技有限公司取得一项名为“招聘信息标准化处理方法、装置”的专利，...
南京南条全兴取得汽车门饰板电子...
国家知识产权局信息显示，南京南条全兴汽车内饰系统有限公司取得一项名为“一种汽车门饰板电子后视镜支架结...