江苏鲁汶仪器申请氮化钛薄膜制备方法专利，无需高温即可得到元素分布均匀性较好、电阻率低且耐刻蚀的氮化钛薄膜_资源案例

江苏鲁汶仪器申请氮化钛薄膜制备方法专利，无需高温即可得到元素分布均匀性较好、电阻率低且耐刻蚀的氮化钛薄膜

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2026-01-24 13:09:56

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国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种氮化钛薄膜的制备方法及一种半导体器件”的专利，公开号CN121380861A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本申请公开了一种氮化钛薄膜的制备方法及一种半导体器件，该方法中，首先，基于目标致密度以及目标电阻率，调节辅助离子源的能量以及惰性气体与反应气体的气体流量比例；继而，向溅射离子源通入惰性气体，向辅助离子源通入反应气体；而后，溅射离子源电离惰性气体，形成溅射离子束；反应气体在离化区域内被辅助离子源电离，形成等离子体；接着，溅射离子束轰击靶材表面，产生溅射粒子；等离子体通过栅网拉束，形成反应离子束；最后，溅射粒子与反应离子束在反应区域发生化学反应，在基底表面沉积形成氮化钛薄膜。由此，无需高温条件即可得到元素分布均匀性较好、电阻率低且耐刻蚀的氮化钛薄膜。

天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目258次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息472条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业高温投资鲁汶仪器元素薄膜电阻率反应专利气体氮化钛离子束离子源

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