长鑫科技申请成像系统及图像传感器制备方法专利,提升像素单元间的隔离效果
创始人
2026-01-27 18:46:11
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国家知识产权局信息显示,长鑫科技集团股份有限公司申请一项名为“成像系统、图像传感器及其制备方法”的专利,公开号CN121398169A,申请日期为2024年7月。

专利摘要显示,本公开实施例涉及半导体领域,提供了一种成像系统、图像传感器及其制备方法,包括:包括:提供衬底,衬底的正面形成有初始隔离结构、有源区和多个像素单元,初始隔离结构位于所述有源区之间的所述衬底内;刻蚀初始隔离结构和部分衬底,以形成贯穿初始隔离结构的第一沟槽,并在第一沟槽内形成第一材料层;刻蚀部分第一材料层,以形成第二沟槽,第二沟槽贯穿初始隔离结构,剩余的第一材料层的顶面与初始隔离结构的底面齐平;在第二沟槽内填充形成垂直堆叠的氧化层和填充层,以形成第一隔离结构;减薄衬底的背面直至暴露出第一材料层的底面,去除第一材料层,以形成第三沟槽,填充第三沟槽,以形成第二隔离结构,第二隔离结构位于相邻像素单元之间。

天眼查资料显示,长鑫科技集团股份有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本6019279.7469万人民币。通过天眼查大数据分析,长鑫科技集团股份有限公司共对外投资了18家企业,参与招投标项目1085次,财产线索方面有商标信息234条,专利信息642条,此外企业还拥有行政许可34个。

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来源:市场资讯

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