北京北方华创真空技术申请电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子专利，降低散射电子和二次电子反射到基材上的可能性_资源案例

北京北方华创真空技术申请电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子专利，降低散射电子和二次电子反射到基材上的可能性

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2025-05-25 23:04:48

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金融界2025年5月7日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创真空技术有限公司申请一项名为“电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子的装置及方法”的专利，公开号CN119913458A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本申请涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子的装置及方法，电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子的装置包括设置在主鼓和坩埚之间的阳极板，阳极板围设在坩埚的周边，阳极板设置有至少一个、至多三个，阳极板避开电子束设置。电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子的方法包括将水冷挡板作为阳极板使用，在水冷挡板上施加正电压；在水冷挡板靠近坩埚的一侧增设辅助阳极板；对辅助阳极板进行位置设计或者表面结构设计；在坩埚的上方、主鼓的下方设置电子屏蔽网；将坩埚进行电绝缘处理，在坩埚上施加正电位。本申请具有降低散射电子和二次电子反射到基材上的可能性，以提高基材的成膜质量的效果。

天眼查资料显示，北京北方华创真空技术有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本6710.49万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创真空技术有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目332次，专利信息267条，此外企业还拥有行政许可8个。

来源：金融界

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