压力传感器的精度是其核心性能指标之一,直接决定测量数据的可靠性,其影响因素可分为传感器自身固有因素与外部应用环境及安装使用因素两大类,以下以文字形式进行详细、结构化的阐述。
一、 传感器自身固有因素
这类因素由传感器的设计、制造工艺及核心元器件特性决定,属于出厂时即存在的先天影响,是精度控制的基础。
- 核心敏感元件的特性
- 敏感元件是压力传感器的核心,其材料与结构直接影响精度。例如,应变片式传感器的敏感栅材料(康铜、镍铬合金等)的电阻温度系数、蠕变特性,会导致长期使用中输出信号的漂移;陶瓷电容式传感器的陶瓷膜片的平整度、介电常数均匀性,若存在制造偏差,会直接引入非线性误差;扩散硅式传感器的硅片掺杂浓度均匀性、光刻工艺精度,会影响压阻效应的一致性,进而造成测量精度的波动。此外,敏感元件的疲劳特性也会影响精度,长期承受循环压力后,元件的弹性模量会发生微小变化,导致零点漂移与量程误差。
- 制造工艺的精度控制
- 传感