北方集成电路取得导流板及涂覆设备专利，避免液体反溅造成晶圆缺陷
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2026-01-31 11:10:49
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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司取得一项名为“一种导流板及涂覆设备”的专利，授权公告号CN223857578U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请提供一种导流板，用于半导体设备，包括：导流板主体，由中空的环状板体围绕而成，包含内侧与外侧；以及防反溅部，设置在所述导流板主体的内侧，包括呈阵列分布的多个柱体凸起，所述柱体凸起的底端与所述导流板主体的内侧连接。本申请还提供一种包括所述导流板的涂覆设备。本申请提供的导流板和涂覆设备能够避免涂胶及显影工艺中，液体反溅至晶圆表面，造成晶圆缺陷。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息536条，此外企业还拥有行政许可125个。
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来源：市场资讯
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