标景精密科技申请基于多模态数据融合的半导体零件缺陷诊断方法专利,提升了边缘区域微小螺旋状缺陷的检出率
创始人
2026-02-09 11:17:43
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国家知识产权局信息显示,标景精密科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种基于多模态数据融合的半导体零件缺陷诊断方法”的专利,公开号CN121482028A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明涉及电子数据处理技术领域,公开了一种基于多模态数据融合的半导体零件缺陷诊断方法,包括获取半导体零件表面的视觉全场扫描数据和靶向抽检数据,将视觉全场扫描数据和靶向抽检数据统一至同一机械坐标系中;计算各微孔位置的工艺势能异方差指标,工艺势能异方差指标由微孔的径向距离和局部视觉方差共同决定;基于工艺势能异方差指标构建势能调节因子,利用势能调节因子对协同克里金插值模型中的权重和误差进行修正,计算全场各微孔的预测真值;将预测真值与微孔的设计公差进行比对,将超出公差范围的微孔标记为缺陷孔,根据缺陷孔的空间分布形态特征,诊断导致缺陷的加工工艺故障源。本发明提升了边缘区域微小螺旋状缺陷的检出率。

天眼查资料显示,标景精密科技(苏州)有限公司,成立于2013年,位于苏州市,是一家以从事金属制品、机械和设备修理业为主的企业。企业注册资本1111.111111万人民币。通过天眼查大数据分析,标景精密科技(苏州)有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息36条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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