中微公司获得发明专利授权：“半导体零部件、其形成方法和等离子体处理装置”
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2026-02-11 03:41:44
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体零部件、其形成方法和等离子体处理装置”，专利申请号为CN202011308450.9，授权日为2026年2月10日。
专利摘要：一种半导体零部件、其形成方法和等离子体处理装置，其中，所述半导体零部件包括：零部件本体；结合层，位于所述零部件本体的表面；耐腐蚀涂层，位于所述结合层的表面，所述耐腐蚀涂层的材料包括硅铝氧氮化合物。所述半导体零部件耐等离子体腐蚀的能力较强，不易产生颗粒污染。
今年以来中微公司新获得专利授权20个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目78次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1645条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。
数据来源：天眼查APP
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