盛红晔半导体申请基于稀薄换热机制的晶圆冷却系统及方法专利，冷却效果均匀
创始人
2025-05-27 08:37:20
0次
金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，盛红晔半导体科技（上海）有限公司申请一项名为“一种基于稀薄换热机制的晶圆冷却系统及方法”的专利，公开号CN120048763A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明涉及一种基于稀薄换热机制的晶圆冷却系统及方法。冷却系统包括主体装置、传感装置和控制装置；主体装置设置于真空锁内，包括冷却平台和支撑单元，用于支撑晶圆，并由控制装置控制主体装置的局部升降，以动态调节晶圆与冷却平台的间距；传感装置与控制装置电连接，包括温度传感器，用于实时监测晶圆表面温度与冷却效率，并将监测结果反馈给控制装置；控制装置与主体装置相连，包括质量流量控制器，用于控制主体装置所注入的冷却气体的气体流量、气体温度、真空锁内压力、顶针的升降和冷却平台的高度。
天眼查资料显示，盛红晔半导体科技（上海）有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，盛红晔半导体科技（上海）有限公司专利信息5条。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
EG(屹晶微)EG2184 带...
描述 EG2184是一款高性价比的带SD功能的MOS管、IGBT管栅极驱动专用芯片，内部集成了逻辑信...
三星电子送样SOCAMM2
据闪德资讯获悉，三星电子已向英伟达提供了下一代DRAM模块SOCAMM第二代样品，该产 品将应用于英...
原创 关...
我们手机里面，有一个非常耗电的功能，你知道吗。你要是从来没有去关过，那你的手机用不了一年半载就得报废...
联创光电（600363）12月...
证券之星消息，截至2025年12月19日收盘，联创光电(600363)报收于58.9元，上涨4.97...
南京熊猫电子股份（00553....
证券之星消息，12月19日南向资金增持159.4万股南京熊猫电子股份（00553.HK）。近5个交易...
股票行情快报：科陆电子（002...
证券之星消息，截至2025年12月19日收盘，科陆电子(002121)报收于7.63元，上涨1.19...
美股异动 | 芯片概念股集体走...
智通财经获悉，周五，芯片概念股集体走高，美光科技(MU.US)盘初涨超7%，股价触及历史新高。英伟达...
全球首次实现！我国实现新一代光...
快科技12月19日消息，上海交通大学宣布，该校集成电路学院图像通信与网络工程研究所陈一彤课题组在新一...
股票行情快报：弘信电子（300...
证券之星消息，截至2025年12月19日收盘，弘信电子(300657)报收于27.21元，上涨0.0...
股票行情快报：福日电子（600...
证券之星消息，截至2025年12月19日收盘，福日电子(600203)报收于13.09元，上涨1.4...