宸微设备申请隔离阀装置以及半导体设备专利，能够阻止反应腔室内的物质逆向进入隔离阀装置的内部
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2026-03-10 11:49:58
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国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“隔离阀装置以及半导体设备”的专利，公开号CN121631020A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，一种隔离阀装置以及半导体设备，隔离阀装置工作时，设置在第一阀组件第二面的第二阀组件能够遮挡凹槽，所述第一阀板遮挡所述第一连接口时，使得凹槽被围成空腔，通过气流流道能够向所述空腔中输送气体，因为所述第一阀板遮挡所述第一连接口时形成预设的间隙，使得向空腔内输送的气体，能通过第一阀板和第一连接口之间的间隙定向地向反应腔室流动，定向气流用于作为动态的气体屏障，能够阻止反应腔室内的物质逆向进入隔离阀装置的内部，有利于提高隔离阀装置的洁净度和可靠性。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息83条，此外企业还拥有行政许可4个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
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