上海稷以科技申请电感耦合等离子体腔体在线清理方法专利，显著降低设备的维护成本与时间_资源案例

上海稷以科技申请电感耦合等离子体腔体在线清理方法专利，显著降低设备的维护成本与时间

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2026-03-18 20:14:05

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国家知识产权局信息显示，上海稷以科技有限公司申请一项名为“一种电感耦合等离子体腔体的在线清理方法”的专利，公开号CN121687823A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地说，涉及一种电感耦合等离子体腔体的在线清理方法。本方法包括：检测腔体内石英桶的污染层的污染水平，当所述污染水平满足预设启动条件时，启动在线清理操作；向所述腔体内注入低温介质，对所述腔体的石英桶进行冷却处理；调节所述腔体的内部压力，向所述腔体内通入工艺气体，施加射频功率脉冲以激发等离子体，通过所述等离子体的热效应与电荷效应的协同作用，使石英桶表面的污染层脱落；对所述腔体进行吹扫和排气处理，以移除腔体内脱落的污染层。本发明能够在无需中断生产线正常运行的条件下，实现对污染层的快速清除与颗粒物排出，显著降低设备的维护成本与时间。

天眼查资料显示，上海稷以科技有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析，上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目90次，财产线索方面有商标信息36条，专利信息161条，此外企业还拥有行政许可19个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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