来源：新浪证券-红岸工作室

3月21日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机”的专利，授权公告号CN224020147U，授权公告日为2026年3月20日。申请号为CN202520419485.1，申请公布日期为2026年3月20日，申请日期为2025年3月11日，发明人葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪，专利代理机构北京景闻知识产权代理有限公司，专利代理师赵巧从，分类号G03F7/20。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机，该系统包括：吸盘装置、电势传感器、开关组件、离子发生器和控制器，其中，控制器用于通过发送吸真空指令或破真空指令来控制开关组件的通断状态，以控制风道的气流方向，进而控制吸盘装置进入吸真空状态或破真空状态，以实现对板材的吸附或分离功能，并接收电势传感器发送的电势差，以在吸盘装置进入破真空状态且电势差超过预存的标定值时，向离子发生器发出开启放电指令，以使离子发生器开启放电，从而向风道中的破真空气流中注入离子。本实用新型可以有效地消除吸盘装置与板材之间因摩擦而产生的电荷积累，避免静电对机台上电子器件的损害。

芯碁微装成立于2015年6月30日，于2021年4月1日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均涉及安徽省合肥市。它是国内微纳直写光刻设备领域的领先企业，核心业务为光刻设备及服务，具备技术与全产业链优势。

芯碁微装所属申万行业为机械设备-专用设备-其他专用设备，涉及PCB概念、年报预增、OLED等概念板块。公司主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研产销及维保服务，产品功能覆盖多领域光刻环节。

2025年，芯碁微装营业收入达14.08亿元，行业排名第1，与行业平均数、中位数持平。主营业务中，PCB系列营收10.8亿元，占比76.69%；泛半导体系列2.33亿元，占比16.58%；租赁及其他8739.3万元，占比6.21%；其他(补充)738.1万元，占比0.52%。净利润为2.9亿元，同样行业排名第1，与行业平均数、中位数相同。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种可折展的压紧机构及LDI设备实用新型授权CN202520797048.32025-04-24CN224005412U2026-03-17汪志全、梁旭2光学测距装置和激光直写曝光机发明专利实质审查的生效、公布CN202510416740.12025-04-03CN120293010A2025-07-11徐剑锋、穆璐、姜蔚然3激光加工装置和激光加工系统发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510309673.32025-03-17CN120095316A2025-06-06刘孟辉、赵尚州4用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机实用新型授权CN202520419485.12025-03-11CN224020147U2026-03-20葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪5吸附组件及具有其的曝光装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510276930.82025-03-10CN119987158A2025-05-13叶飞、程刚、项宗齐、汪涛6吸附组件及具有其的曝光装置实用新型授权CN202520372061.42025-03-05CN223692643U2025-12-19于成信7LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机发明专利实质审查的生效、公布CN202510224817.52025-02-27CN119805888A2025-04-11赵祥宝、郑超、朱远哲、高晓锋8LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机发明专利授权CN202510225750.72025-02-27CN119805889B2025-11-28赵祥宝、蔡志鸿9应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机发明专利实质审查的生效、公布CN202510148769.62025-02-11CN119805879A2025-04-11王克、程建高10一种抖动分板装置实用新型授权CN202520211748.X2025-02-11CN223792483U2026-01-13陆原、束义、刘汉云11一种双台面曝光机实用新型授权CN202520171673.72025-01-25CN223796823U2026-01-13于成信12一种曝光面剂量修正系统实用新型授权CN202520171669.02025-01-25CN223796822U2026-01-13李志豪、董邦林、穆璐、宋照爱13一种插框自动收放板装置发明专利授权CN202510120189.62025-01-25CN119822052B2026-03-13焦官华、陆原、束义、刘汉云14一种插板夹持装置发明专利授权CN202510120188.12025-01-25CN119822051B2026-03-17陆原、焦官华、束义、刘汉云15运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510110128.12025-01-23CN119644681A2025-03-18李辉16运动曝光工作台及具有其的曝光系统实用新型授权CN202520160598.42025-01-23CN223911162U2026-02-13李辉17提升UV激光钻孔加工工艺的激光钻孔设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510057567.02025-01-14CN119794623A2025-04-11刘孟辉、赵尚州18基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备实用新型授权CN202520083435.02025-01-14CN223932816U2026-02-24刘孟辉19激光钻孔独立动态调控的多AOM级联设备实用新型授权CN202520083520.72025-01-14CN223932871U2026-02-24刘孟辉20激光二极管的散热装置、高功率半导体激光器及组装方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510016572.72025-01-06CN119994629A2025-05-13刘亮、杨凯21一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510016571.22025-01-06CN120002560A2025-05-16刘亮、杨凯22激光器外壳及半导体空间光激光器实用新型授权CN202520025368.72025-01-06CN223797724U2026-01-13刘亮、金伟龙、杨凯23曝光装置实用新型授权CN202423309294.42024-12-31CN223566032U2025-11-18叶飞24应用于光头底板的散热机构及其曝光机实用新型授权CN202423314307.72024-12-31CN223712003U2025-12-23张文龙、梁旭25直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机发明专利实质审查的生效、公布CN202411904595.32024-12-23CN119556532A2025-03-04王超、梅文辉、赵美云、邵德洋26自动上下料装置实用新型授权CN202423178878.22024-12-23CN223572237U2025-11-21张亮、赵尚州、李辉、岳览27吸附总成及具有其的光刻装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411726109.32024-11-28CN119511647A2025-02-25侯庆伟、汪涛28提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411720670.02024-11-28CN119292005B2025-10-10卞洪飞、张辉、叶加良、陈东29基于空间光调制的双波段激光图形化微纳制造装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411700772.62024-11-26CN119387805A2025-02-07张辉、卞洪飞、叶加良、陈东30夹取装置实用新型授权CN202422891408.42024-11-26CN223385416U2025-09-26李冬青、李香滨、焦官华、徐欣31一种真空吸附固定式晶圆载台实用新型授权CN202422718008.32024-11-06CN223598699U2025-11-25于成信32夹紧总成及具有其的光刻装置实用新型授权CN202422674996.62024-11-04CN223666547U2025-12-12王历先、梁旭、张文龙33一种能够快速更换过滤器的风机过滤装置实用新型授权CN202422675578.92024-11-01CN223425389U2025-10-10程强34曝光总成及具有其的光刻设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411543995.62024-10-31CN119126500A2024-12-13张浩为、刘孟辉、武林35一种用于LDI设备的气动遮光装置实用新型授权CN202422670377.X2024-10-31CN223401139U2025-09-30张文龙36一种用于DMD芯片散热的水冷系统实用新型授权CN202422670371.22024-10-31CN223598092U2025-11-25张文龙、梁旭、王历先37单台面LDI曝光机外观专利授权CN202430676628.82024-10-25CN309380230S2025-07-11王历先、项宗齐、梁旭38FPD边缘曝光打码设备外观专利授权CN202430676627.32024-10-25CN309385911S2025-07-15程强39高效单机双面曝光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411492573.02024-10-24CN119200348A2024-12-27曲鲁杰、程刚40高效单机双面曝光设备实用新型授权CN202422576617.X2024-10-24CN223217782U2025-08-12曲鲁杰、程刚41聚焦总成及具有其的光刻装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411486173.92024-10-23CN119126499A2024-12-13徐剑锋、戴晓霖、黄思航42标定总成及具有其的曝光装置实用新型授权CN202421971890.62024-08-13CN223260027U2025-08-22叶飞43激光加工设备外观专利授权CN202430502595.52024-08-08CN309288976S2025-05-13张亮44光刻靶标图像去模糊的方法及装置、去模糊模型和光刻机发明专利公布CN202411056926.22024-08-02CN118840287A2024-10-25冯浩川、郑超、王辰扬45直写光刻设备和曝光控制方法发明专利授权、公布CN202411056139.82024-08-02CN118884780B2025-09-16张敏、戴晓霖、武邵东46一种具有视觉相机装置的激光加工设备实用新型授权CN202421856554.72024-08-01CN223418627U2025-10-10张亮、董帅47光学扩展模组和具有其的光学系统发明专利授权、公布CN202410988612.X2024-07-23CN118688972B2025-09-26曲鲁杰、蔡银银、程刚、赵美云48光学扩展模组和具有其的光学系统发明专利授权、公布CN202410988613.42024-07-23CN118707743B2025-11-07赵美云、曲鲁杰、蔡银银、程刚49一种用于直写式光刻机的安全防护系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410699512.52024-05-31CN118466111A2024-08-09童宇、朱会敏、周虎50一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410699502.12024-05-31CN118466110A2024-08-09谢佳初、朱会敏、李致樯、郭弘丽、占亚利

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