新凯来申请一种卡盘结构、工装以及半导体设备专利，提高了卡盘结构的适用范围
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2026-04-04 19:34:29
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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种卡盘结构、工装以及半导体设备”的专利，公开号CN121793718A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种卡盘结构、工装以及半导体设备，用于提高卡盘结构的适用范围，在半导体工艺的过程中无需更换卡盘结构，提高了生产效率。本申请实施例提供的一种卡盘结构包括卡盘本体、第一承载部以及第二承载部，卡盘本体具有承载表面，第一承载部为设置在承载表面上的多个凸点，多个凸点的上表面到承载表面的距离为第一距离，第二承载部的上表面用于承载掩模版托架，第二承载部的上表面到承载表面的距离为第二距离，第二距离小于第一距离。卡盘结构的第一承载部可以承载晶圆，且不与第二承载部接触；卡盘结构的第二承载部可以承载掩模版托架以承载掩模版，且不与第一承载部接触。提高了卡盘结构的适用范围，提高了生产效率。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息244条，此外企业还拥有行政许可14个。
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来源：市场资讯
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