长江存储申请三维存储器及其制作方法专利,提高存储器系统的集成度和性能
创始人
2026-05-08 08:28:51
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国家知识产权局信息显示,长江存储科技有限责任公司申请一项名为“三维存储器及其制作方法、存储器系统”的专利,公开号CN121888608A,申请日期为2022年10月。

专利摘要显示,本公开实施例公开了一种三维存储器的制作方法,包括:提供半导体层;所述半导体层包括沿第一方向排布的第一区域、第二区域,所述第一方向垂直于所述半导体层的厚度方向;在所述半导体层上形成多个绝缘层和多个牺牲层交替层叠的堆叠结构;在所述第一区域上形成多个贯穿所述堆叠结构的沟道结构;在所述第二区域上形成贯穿所述堆叠结构且沿所述第一方向延伸的第一栅缝隙;通过所述第一栅缝隙去除所述第二区域上的部分牺牲层;在所述第一区域上形成贯穿所述堆叠结构且沿所述第一方向延伸的第二栅缝隙,所述第一栅缝隙与所述第二栅缝隙连通;通过所述第二栅缝隙去除所述第一区域上的牺牲层。

天眼查资料显示,长江存储科技有限责任公司,成立于2016年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12469608.0404万人民币。通过天眼查大数据分析,长江存储科技有限责任公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目1434次,财产线索方面有商标信息1026条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可1005个。

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来源:市场资讯

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