鹏芯微取得半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备专利，可选择地交错设置悬臂
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2025-06-04 19:06:36
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金融界2025年6月4日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司取得一项名为“半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备”的专利，授权公告号CN222932468U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本公开涉及一种半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备，其中，半导体研磨液输送装置包括旋转轴（1），其中心轴线沿高度方向（z）延伸；第一悬臂（10），沿所述旋转轴（1）的径向延伸，所述第一悬臂（10）绕所述中心轴线可旋转地连接于所述旋转轴（1），所述第一悬臂（10）远离所述旋转轴（1）的第一端设有第一研磨液喷嘴（11）；和第二悬臂（20），沿所述旋转轴（1）的径向延伸，绕所述中心轴线可旋转地连接于所述旋转轴（1），所述第二悬臂（20）远离所述旋转轴（1）的第二端设有第二研磨液喷嘴（22），所述第二悬臂（20）位于所述第一悬臂（10）上方，所述第一悬臂（10）和所述第二悬臂（20）可选择地交错设置。
天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目16次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息44条，此外企业还拥有行政许可204个。
来源：金融界
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