中微公司获得实用新型专利授权：“一种静电卡盘及半导体处理装置”
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2025-06-10 03:35:19
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种静电卡盘及半导体处理装置”，专利申请号为CN202421646425.5，授权日为2025年6月10日。
专利摘要：本实用新型公开了一种静电卡盘及半导体处理装置，具体包括：基底，依次设置在基底的顶面上的加热器和陶瓷层。分别设置在加热器的顶面和底面的粘接层，以将加热器粘接在基底与陶瓷层之间。加热器包括：层叠设置的第一金属板和第一加热区。第一加热区包括层叠设置的第一绝缘粘接层、第一电阻加热层、第二绝缘粘接层、第一电路转接层和第三绝缘粘接层。第一电阻加热层包括：电源回路且其第一电路转接层中汇合引出。多个呈阵列排布的加热元件，其与电源回路连接。多个整流器，每一整流器与对应的加热元件串联；多个整流器形成一单向导通层并位于第三绝缘粘接层的下方。本实用新型可以提高整流器的使用寿命；降低制备工艺的复杂度，缩短加工时间。
今年以来中微公司新获得专利授权74个，较去年同期增加了2.78%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。
数据来源：天眼查APP
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