华虹半导体申请闪存器件制造方法专利，避免前层带来的刻蚀不均匀性的影响
创始人
2025-06-14 17:13:02
0次
金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，华虹半导体（无锡）有限公司申请一项名为“闪存器件的制造方法”的专利，公开号CN120152287A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提供一种闪存器件的制造方法，提供衬底，衬底包含存储区、载带区和外围逻辑区，在存储区和外围逻辑区上形成叠层结构，叠层结构由自下而上依次堆叠的耦合层、浮栅多晶硅层、极间介质层、控制栅多晶硅层组成；在控制栅多晶硅层上形成第一ONO层，第一ONO层由自下而上依次堆叠的第一氧化层、第一氮化层、第二氧化层组成；在存储区上的第一ONO层及其下方的叠层结构上形成字线沟槽，在字线沟槽中形成隧穿氧化层，之后形成填充字线沟槽且覆盖第一ONO层的字线多晶硅层；研磨字线多晶硅层及其下方的第二氧化层至第一氮化层上或预留部分厚度的第一氮化层；去除第一氮化层。
天眼查资料显示，华虹半导体（无锡）有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2921次，专利信息1682条，此外企业还拥有行政许可117个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
MSO5000HD示波器
MSO5000HD示波器是一款功能强大的混合信号示波器，广泛应用于电子工程、科研和教育等领域。尽管它...
上海合作组织关于伊朗遭受军事打...
上合组织对中东局势升级表示严重关切，强烈谴责以色列6月13日对伊朗发动的军事打击。 有关侵略行为针对...
原创 拿...
据环球网报道，12日外交部发言人林剑主持例行记者会，回应了中美经贸磋商相关问题。近期中美经贸关系的一...
两只成年人解压的二手玩具拍出2...
两只初代Labubu拍出200多万 BUSINESS #1 6月10日举办的永乐2025春季拍卖会...
克拉玛依市选派干部赴塔城地区挂...
6月12日，克拉玛依市选派干部赴塔城地区挂职工作座谈会召开。会上，对选派到塔城地区挂职的35名优秀干...
“梦游”中6次丢手机，每次都被...
“你是不是在梦游的时候把手机弄丢了，我帮你找回来。”“热心肠”室友屡次伸出援手，没想到竟是精心编织的...
“充电宝易爆炸，多高校禁用”，...
近日，多位网友反映收到学校下发的排查通知，称“20000毫安的罗马仕牌充电器在充电时易发生爆炸”。 ...
原创 空...
据报道，在俄乌冲突的大棋盘上，每一步棋都牵一发而动全身，局势瞬息万变，令人揪心。当地时间6月10日凌...
秦川物联申请压力报警器的电压检...
金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，成都秦川物联网科技股份有限公司申请一项名为“...
中微半导体申请用于化学气相沉积...
金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名...