江苏佰鹿微电子取得增加使用寿命的靶材结构专利，增加使用寿命
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2025-05-15 10:15:29
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金融界2025年5月15日消息，国家知识产权局信息显示，江苏佰鹿微电子科技有限公司取得一项名为“一种增加使用寿命的靶材结构”的专利，授权公告号 CN222861603U，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种增加使用寿命的靶材结构，包括靶材和背板，所述靶材的溅射端设置有第一溅射区、第二溅射区和第三溅射区；所述第一溅射区设置于靶材上端的中间位置；且所述第一溅射区的截面为向内凹陷的圆弧形；所述第三溅射区设置于靶材上端的边缘位置；且所述第三溅射区为斜切面；所述第二溅射区设置于第一溅射区和第三溅射区之间；且所述第二溅射区的横截面为横向设置的 S 型。本实用新型通过在靶材的侧面设置连接部，通过螺杆与背板固定连接，并在靶材与背板之间设置密封结构，保证靶材与背板的连接强度的同时增加密封效果。
天眼查资料显示，江苏佰鹿微电子科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏佰鹿微电子科技有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可6个。
来源：金融界
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