新凯来申请半导体工艺设备喷淋头专利，可降低因温度不均匀导致的变形_电子百科

新凯来申请半导体工艺设备喷淋头专利，可降低因温度不均匀导致的变形

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2025-05-16 15:33:48

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金融界2025年5月16日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种半导体工艺设备喷淋头”的专利，公开号CN119972384A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺设备喷淋头，穹顶盖和匀气盘相对固定装配形成匀气腔，一个或多个导热柱安装在匀气腔之内，且导热柱的两端分别导热接触穹顶盖和匀气盘，导热柱一方面可起到支撑作用，加强穹顶盖和匀气盘之间的支撑强度；导热柱另一方面可起到热量传导的作用，用于在穹顶盖和匀气盘之间传导热量，可降低因温度不均匀导致的变形；由于导热柱的第二端沿径向方向设置镂空缺口，镂空缺口没有实体结构从而允许气流经过，相对于完整的实体结构可极大地降低对气流流动状态的干扰；此外，镂空缺口的存在，减小了导热柱第二端与匀气盘之间的接触面积，可以在导热柱的投影范围之内布置匀气通道，使匀气通道在匀气盘上形成更加均匀一致的密度分布。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本106584.4444万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息89条，此外企业还拥有行政许可11个。

来源：金融界

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