屹唐半导体申请微波退火设备专利，加热速度快且均匀
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2025-06-29 00:38:25
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金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司申请一项名为“微波退火设备”的专利，公开号CN120221452A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本公开提供一种微波退火设备，涉及半导体设备技术领域。微波退火设备，包括：腔室基体，腔室基体的内部空间用于容纳半导体工件；微波装置，邻近腔室基体设置，用于对半导体工件进行退火处理；旋转夹持装置，至少部分位于腔室基体中，用于支撑半导体工件并带动半导体工件旋转；其中，旋转夹持装置包括：驱动件、带传动组件及支撑组件，驱动件与带传动组件连接，带传动组件与支撑组件连接，支撑组件用于支撑多个半导体组件，多个半导体组件沿所腔室基体的轴向间隔分布；驱动件能通过带传动组件带动支撑组件及半导体工件旋转；温度检测装置，用于检测半导体工件的温度。
天眼查资料显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司，成立于2015年，位于北京市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本266000万人民币。通过天眼查大数据分析，北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目174次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息221条，此外企业还拥有行政许可87个。
来源：金融界
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