华虹半导体申请监控台阶覆盖率的方法专利,及早发现常规无法监控到的异常
创始人
2025-07-09 20:09:28
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金融界2025年7月9日消息,国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司申请一项名为“监控台阶覆盖率的方法”的专利,公开号CN120280363A,申请日期为2025年03月。

专利摘要显示,本发明提供一种监控台阶覆盖率的方法,提供设计版图,设计版图在工艺制造中会形成台阶结构,台阶结构上需沉积目标膜层;调节待测试版图在测试晶圆上形成测试结构,测试结构与台阶结构具有相同的形貌;在测试晶圆上的测试结构上沉积目标膜层;形成引出测试结构的导电结构,建立晶圆接受测试的测试键;进行晶圆接受测试,根据测试结果判断测试结构是否发生异常,进而判断设计版图在工艺制造中的台阶覆盖率是否发生异常。

天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2924次,专利信息1690条,此外企业还拥有行政许可117个。

来源:金融界

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