华虹半导体申请监控台阶覆盖率的方法专利，及早发现常规无法监控到的异常
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2025-07-09 20:09:28
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金融界2025年7月9日消息，国家知识产权局信息显示，华虹半导体（无锡）有限公司申请一项名为“监控台阶覆盖率的方法”的专利，公开号CN120280363A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明提供一种监控台阶覆盖率的方法，提供设计版图，设计版图在工艺制造中会形成台阶结构，台阶结构上需沉积目标膜层；调节待测试版图在测试晶圆上形成测试结构，测试结构与台阶结构具有相同的形貌；在测试晶圆上的测试结构上沉积目标膜层；形成引出测试结构的导电结构，建立晶圆接受测试的测试键；进行晶圆接受测试，根据测试结果判断测试结构是否发生异常，进而判断设计版图在工艺制造中的台阶覆盖率是否发生异常。
天眼查资料显示，华虹半导体（无锡）有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2924次，专利信息1690条，此外企业还拥有行政许可117个。
来源：金融界
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