成都紫光半导体申请半导体器件及其制造方法专利,有效地阻挡存储区出现铝扩散问题
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2025-05-17 16:35:22
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金融界2025年5月17日消息,国家知识产权局信息显示,成都紫光半导体科技有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利,公开号CN119993899A,申请日期为2023年11月。

专利摘要显示,本公开涉及一种半导体器件及其制造方法,该半导体器件包括衬底层、第一垫氧化层、氮化物层以及光刻胶层,第一垫氧化层设置在衬底层上,氮化物层设置在第一垫氧化层上,氮化物层包括第一区域和第二区域,光刻胶层设置在第一区域上;第二区域朝向衬底层刻蚀凹陷并凹陷至衬底层内,以形成浅沟槽,浅沟槽内设置有绝缘介质;浅沟槽包括位于衬底层内的第一槽体部,绝缘介质包括相互连接的基层和台阶层,基层设置于第一槽体部内,台阶层凸出于第一槽体部设置;台阶层包括相互连接的台阶基部和加厚部,台阶基部与基层连接,且加厚部设置于台阶基部远离基层的一侧。通过设置加厚部,可以有效地加高台阶层的高度,有效地阻挡存储区出现铝扩散的问题。

天眼查资料显示,成都紫光半导体科技有限公司,成立于2022年,位于成都市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,成都紫光半导体科技有限公司专利信息18条。

来源:金融界

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