武汉衡惯申请一种MEMS惯性传感器及其制造方法专利，让封装工艺更简单
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2025-08-04 19:39:17
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金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，武汉衡惯科技发展有限公司申请一项名为“一种MEMS惯性传感器及其制造方法”的专利，公开号CN120403623A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明属于微机电系统技术领域，具体提供了一种MEMS惯性传感器，包括依次堆叠键合的电路层、第一器件层、第二器件层和盖帽层；第一器件层下表面设有多个第一支撑梁；多个所述第一支撑梁与所述电路层键合；所述第二器件层设有多个第二支撑梁；多个所述第二支撑梁与所述第一器件层键合；所述盖帽层与所述第二器件层键合；所述盖帽层与所述电路层之间合围形成电路区。
天眼查资料显示，武汉衡惯科技发展有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉衡惯科技发展有限公司财产线索方面有商标信息4条，专利信息40条，此外企业还拥有行政许可1个。
来源：金融界
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