上海积塔半导体申请离子注入机的控制方法、装置以及离子注入机专利，提高离子注入的晶圆的质量
创始人
2025-08-16 20:16:18
0次
金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，上海积塔半导体有限公司申请一项名为“离子注入机的控制方法、装置以及离子注入机”的专利，公开号CN120497114A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本申请涉及集成电路技术领域，特别是涉及一种离子注入机的控制方法、装置以及离子注入机。离子注入机的控制方法包括如下步骤：控制离子注入机以第一转速工作，以使得在单位时间内，离子注入机的束流能够扫描到晶圆面积为第一面积；基于第一切换指令，控制离子注入机以第二转速工作，以使得在单位时间内，离子注入机的束流能够扫描到晶圆面积为第二面积，第一转速小于第二转速，第一面积小于第二面积。通过控制离子注入机在第一转速下工作，使得束流扫描到的待加工晶圆的面积较小，这使得晶圆表面的光刻胶受到的束流轰击少，进而光刻胶中的水汽、化学物质析出也较少，这提高了离子注入的晶圆的质量。
天眼查资料显示，上海积塔半导体有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1690740.3918万人民币。通过天眼查大数据分析，上海积塔半导体有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目1849次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息1229条，此外企业还拥有行政许可193个。
来源：金融界
相关内容
热门资讯
苹果WWDC发布Siri AI...
6月9日消息，据外电报道，苹果今天在WWDC 2026上宣布对Siri进行重大改进，将其更名为“Si...
璐普科技取得印制电路板的供电电...
国家知识产权局信息显示，深圳市璐普科技有限公司取得一项名为“印制电路板的供电电路”的专利，授权公告号...
每周股票复盘：顺络电子（002...
截至2026年6月18日收盘，顺络电子（002138）报收于71.16元，较上周的56.16元上涨2...
每周股票复盘：弘信电子（300...
截至2026年6月18日收盘，弘信电子（300657）报收于47.55元，较上周的46.9元上涨1....
鹏芯微申请半导体结构的制作方法...
国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请一项名为“半导体结构的制作方法”的专利，...
格兰拓普取得PCB板连接结构及...
国家知识产权局信息显示，深圳市格兰拓普电子有限公司取得一项名为“一种PCB板连接结构及PCB板组件”...
让开关自我消亡：AI 赋能的 ...
作者 | 闫文亮，快手资深服务端架构师 审核｜Kitty 策划 | QCon 全球软件开发大会 随着...
皇虎测试科技申请通信接口信号接...
国家知识产权局信息显示，皇虎测试科技（深圳）有限公司申请一项名为“通信接口信号接收电路、方法及储能系...
鸿钧微电子申请瞬态电压改善电路...
国家知识产权局信息显示，广东鸿钧微电子科技有限公司申请一项名为“一种瞬态电压改善电路与供电系统”的专...
长城汽车中标：中华人民共和国集...
证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据中华人民共和国集安出入境边防检查站6月19日发...